只不过当时包括英特尔、台积电、三星等都不看好euv。

        英特尔虽然认购了15%，但其中10%针对18寸晶圆光刻，只有5%是对euv的投资。

        台积电认购了5%，三星想了半天只认购了3%，放弃了2%。

        大约在2015年时，两年半锁定期一到，台积电便急忙卖掉了持有的asml全部股份，因为euv还是个技术难度非常大的‘幻梦’。

        由于18寸晶圆的难产，英特尔对此投资兴趣也索然，随后它每2~3年减持一半，最后也全部卖光。

        三星对euv最不看好，所以投资最晚认购也最少，哪怕是在2016年时，仍然选择减持一半。

        所以，在2010年这个时间点，目前全世界光刻领域的精力还是集中在duv深紫外上的各种探索。

        包括想办法进行沉浸式光刻、多重曝光等等，因为原先duv极限只能支撑90nm制程的光刻。

        如果是2020年，很多人也一定听过包括哈工大在内的部分学校用不了matb。

        如果是2020年，很多人也一定听过层出不穷的禁令。

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