这玩意不定要多久才能安装调试好。

        反正据可靠消息，asml的那台euv研发用样机现在都没用上，还在安装调试中。

        换句话说euv光刻机安装调试周期基本要超过一年时间。

        倒是90nm落后工艺制程的duv应该能缩短不少时间。

        因为euv光刻的安装调试周期之长，方年才会着急忙慌计划在不到三个月的时间里单独让梼杌就花掉10个亿美元。

        这还不算其它相关研发单位将陆陆续续出资的研发经费。

        按照asml的发展历程，乐观估计，梼杌牵头，众多科研单位合力，上微电总成的第一台euv研发样机能在2014年底下来。

        不过……

        也有可能大幅提前。

        因为相较于asml的后知后觉，从2012年中开发起联合投资计划募资，认为后续需要每年投入10亿欧研发经费，以及更后续发起的‘’合作研发项目；

        梼杌起手就先来了10亿美元，年均投入50亿人民币，这可没包括其它公司单位的投入；

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